Tipo = Artículo de revista Titulo = Síntesis de recubrimientos nanoestructurados de (Ti-Zr-Si)N depositados sobre aleación de Ti6Al4V Autor = Cardenas-Flechas, Leydi Julieta Autor = Mejía-Villagran, Claudia Patricia Autor = Rincon-Joya, Miryam Autor = Olaya-Florez, Jhon Jairo Resumen = Los recubrimientos de TiZrSiN tienen aplicaciones importantes como barreras contra la corrosión y estabilizadores térmicos. La adición de Si en las películas de TiZrN ayuda a aumentar la dureza y la estabilidad térmica del recubrimiento base. En este trabajo, películas delgadas de (Ti-Zr-Si)N fueron depositadas sobre la aleación de Ti6Al4V mediante la técnica de co-sputtering utilizando blancos de Ti5Si2 y Zr. La síntesis de los recubrimientos se realizó variando la potencia de descarga en la fuente RF encargada del blanco de Ti5Si2 a 130W, 150W y 170W, así como una variación en la temperatura de depósito a temperatura ambiente, 130° y 260°C. Los recubrimientos fueron caracterizados por medio de difracción de rayos X (XRD), donde se evidencia la formación de la fase que pertenece a la solución sólida (Zr,Ti)N, microscopía electrónica de barrido (SEM), espectroscopia UV-Vis y ensayos de dureza y pin-on-disc. El espesor fue medido a través de interferometría con valores entre 662 y 481nm para los recubrimientos depositados. De acuerdo con el mecanismo de falla en el ensayo de rayado, los mejores resultados obtenidos se dieron para una potencia de 170W y 260°C con una falla cohesiva Lc1=2.1N y una falla adhesiva Lc2=4.7N. Fecha - 2021-06-16 KeyWords = (Ti-Zr-Si)N KeyWords = (Ti-Zr-Si)N KeyWords = Ti6Al4V KeyWords = Ti6Al4V KeyWords = Recubrimientos KeyWords = Coatings KeyWords = Co-sputtering KeyWords = Co-sputtering KeyWords = Nanoestructuras KeyWords = Nanostructures Editor = Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Físicas y Naturales URL = https://repositorio.accefyn.org.co/handle/001/1845